ICS 105型集成电路扫描仪，可对集成电路和小型组件进行高频近场测量。根据使用的探头情况，可在 (50x50x50) mm 的空间范围内对磁场或电场进行测量，并在电脑上显示测量结果。此外，探头可自动旋转以确定磁场的准确方向。 可单独订购的 ICR 型近场微探头适用于 1.5MHz 至 6GHz 频率范围内的测量，空间分辨率可达 50μm。
| 电源电压 | 110 / 230 V |
| 接口 | USB |
| 最大过程路径 | (50 x 50 x 50) mm / α-Rotation ±180° |
| 最小过程路径 | (10 x 10 x 10) µm / α-Rotation 1° |
| 移动速度 | (10 x 10 x 5) mm/s / α-Rotation 90°/s |
| 重量 | 23 kg |
| 尺寸 (L x W x H) | (350 x 400 x 420) mm |
| 3D-扫描 |  |
| 表面扫描 |  |
ICS 105型集成电路扫描仪，可对集成电路和小型组件进行高频近场测量。根据使用的探头情况，可在 (50x50x50) mm 的空间范围内对磁场或电场进行测量，并在电脑上显示测量结果。此外，探头可自动旋转以确定磁场的准确方向。 可单独订购的 ICR 型近场微探头适用于 1.5MHz 至 6GHz 频率范围内的测量，空间分辨率可达 50μm。
| 电源电压 | 110 / 230 V |
| 接口 | USB |
| 最大过程路径 | (50 x 50 x 50) mm / α-Rotation ±180° |
| 最小过程路径 | (10 x 10 x 10) µm / α-Rotation 1° |
| 移动速度 | (10 x 10 x 5) mm/s / α-Rotation 90°/s |
| 重量 | 23 kg |
| 尺寸 (L x W x H) | (350 x 400 x 420) mm |
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